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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="電阻式氧氣感測器,氧化鈰,薄膜,濺鍍"


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    以磁控濺鍍法製備氧化鈰及摻雜釓與銀薄膜之電阻式氧氣感測器與性能比較
    • /96/ 碩士
    • 研究生: 林志名 指導教授: 周賢鎧
    • 本論文使用磁控式濺鍍沉積氧化鈰(CeO2)及摻雜釓與銀[(Gd2O3)x-(CeO2)1-x、Ag- CeO2]之氧化鈰固態薄膜電解質在氧化鋁基材上,後藉由熱處理後再濺鍍白金電極製備成電阻式氧氣感測…
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